Компания CIMC ENRIC успешно поставила первые в Китае трубные установки для смешанного газа фосфина и водорода.

Недавно компания Shijiazhuang Enric Gas Equipment Co., Ltd. (именуемая в дальнейшем «Shijiazhuang Enric»), дочерняя компания CIMC ЭНРИК, успешно поставила первые в Китае трубчатые установки для фосфин-водородной смеси, ознаменовав тем самым, что мы достигли новых прорывов в области электронное оборудование для хранения и транспортировки газа в Китае.

Установки для труб фосфино-водородной смеси газов

Понятно, что трубчатые полозья были разработаны независимо CIMC ЭНРИК специальное оборудование, предназначенное для периодического хранения и транспортировки смеси фосфина и водорода. В процессе производства полупроводников обычно используется определенная концентрация газовой смеси фосфина и водорода (разновидность электронного газа). В настоящее время для этого типа хранения и транспортировки газа на рынке в основном используются газовые баллоны высокого давления высокой чистоты (газовые баллоны Y-тонны), небольшие газовые баллоны и поставленные на этот раз трубные платформы могут хранить 13 м³ газа, а газ Емкость хранения при одной транспортировке эквивалентна емкости хранения газа в 200 небольших газовых баллонах, что значительно снижает эксплуатационные расходы газовых компаний и удовлетворяет большие потребности в потреблении газа в полупроводниковой промышленности.

Более того, поскольку смесь фосфина и водорода чрезвычайно пожароопасна и высокотоксична, оборудование спроектировано так, чтобы добиться «нулевой утечки», а между трубопроводом и клапаном полностью используется орбитальная сварка, что значительно повышает безопасность изделия.

CIMC ENRIC, как крупнейший поставщик электронного оборудования для хранения и транспортировки газа в Китае, в течение многих лет проводил глубокие исследования в области оборудования для хранения и транспортировки газовых смесей фосфина и водорода и освоил ключевые ключевые технологии. Запуск трубных установок большого объема будет способствовать дальнейшему развитию полупроводниковой промышленности и способствовать реализации «мощности чипов» Китая.